The Semiconductor Industry Association ( SIA ) representerer 90 prosent av halvleder-produkter produsert i USA . Den multi -milliard dollar halvlederindustrien selger millioner av ørsmå mikroprosessor , som er laget med plasma- elektroder. Typer plasma elektroder er: induksjon kombinert , mikrobølgeovn eller radio bølge elektroder. Plasma elektroder på bunnen av ovn sjakter , nå temperaturer over 6000 grader Celsius. Plasma elektroder forgasses metall, som kobber eller strøk silikon forming halvledere. Elektrisk utladning Plasma Elektroder

Plasma elektroder frigi elektrisk strøm gjennom et stoff som leder ikke strøm . Air isolerer . Det leder ikke strøm , men en flere tusen volt elektrisk felt passerte gjennom normalt isolerende luft , skaper nitrogen , oksygen og andre gassformige ioner. Den plasma -elektroden fører til negativt ladede elektroner for å bryte av den nitrogen- eller oksygen-atomer og etterlater de positivt ladede ioner. De ioner og elektroner (plasma ) beveger seg gjennom den høye spenning skaper en elektrisk strøm . Plasma gjennomfører elektrisk strøm .
Vaccuum Arc Plasma Elektroder

Vacuum arc elektriske utladninger bruker plasma belegg i metallurgi og som plasma- filmer. Vakuum buer er fra sammenkoblede høyspenningselektroder i et vakuum kammer . Den elektriske lysbue bærer ionisert plasma og leder den magnetiske lysbuen å belegge en mikrobrikke overflate. Lysbuen kan rettes med et magnetisk felt. Coating mikrobrikker med et ladet plasma arc er en prosess som kalles "vakuum arc deponering. " Flytende metall synker spray fra elektrodene overflaten, hvilket forringer kvaliteten på det tynne plasma belegg. Inkonsekvent dråper fjernes fra plasmastråle ved å hindre strømmen av plasma- lysbue mellom elektroden og halvledere overflaten . Denne prosessen kalles " filtrert vakuum arc deponering. "
Corona og glød utslipp Elektroder

Corona elektrisk utladning er en delvis inhomogeneous elektrisk utladning . Corona elektrisk utladning er skapt av en høyspent elektrisk felt nær en skarp elektrode . Corona er en lav strøm , høy spenning utslippet. Glow utslipp er flere hundre volt og en ampere strøm. Den lave ionisert strøm forsterkes i kollisjon med andre partikler . Forsterkning skaper sekundære elektroner . Elektriske utladninger er også laget av mikrobølgeovn eller laser bølger med eller uten elektroder .
Kapasitivt koblet plasma ( CCP) Elektroder

kapasitivt koblet plasma (CCP ) elektroden er faktisk to plasmapistoler elektroder med liten avstand mellom dem inne i en reaktor. Trykket fra gassen inne i reaktoren kan være lavere enn trykket av atmosfæren. En CCP elektrode dirigerer radiobølger , vanligvis på 13,56 MHz . En plasma -elektroden er koblet til den elektriske strøm , og den andre er jordelektroden . De CCP elektrodene er festet i parallell, og plasma dannet på denne måte er kapasitivt koblet plasma. Kapasitivt koblet plasma produserer noen ganger lys mens generere plasma med en kondensator . Elektroner bombarderer en elektrode raskt bli negativt ladet og de ​​skaper plasma sekundær strøm i tillegg til den vekselstrøm. En direkte strømelektrode begeistrer elektroner og avgifter ioner . Dette microprocess deponerer en tynn plasma film på en elektrode . Halvledere fra CCP kan være etset .