Micro - Electro -Mechanical Systems - MEMS - wafers er miniatyriserte mekaniske og elektromekaniske elementer ? . De består av miniatyriserte strukturer , sensorer, aktuatorer og mikroelektronikk . Apparatene kan konvertere energi fra en form til en annen, for eksempel å konvertere en målt mekanisk signal til et elektrisk signal . Bruker

MEMS wafere brukes i mange typer elektroniske enheter, inkludert sensorer, skrivehoder og mikro- reaktorer . De er også ofte brukt i trykksensorer, treghet måleenhetene DNA analyse og implanterbare sensorer .
Material

MEMS wafere er opprettet på silikon eller glass wafere. Spesielle glasstyper , inkludert alkali -free glass , lavt alkaliske glass , svært gjennomsiktig spesialiserte glass og høy renhet syntetisk smeltet silisiumdioksid er tilgjengelig for spesialiserte programmer .
Størrelser

MEMS wafere varierer i størrelse fra én mikrometer til flere millimeter . Grunnleggende størrelser er 4, 6 og 8 inches med en tykkelse på mellom 0,05 og 2 mm. De små aktuatorer utfører mekaniske bragder langt større enn deres størrelse skulle tilsi.
Future of MEMS -teknologi
p Med videreutvikling av MEMS -teknologi , kan det være mulig for disse miniatyrisert sensorer, aktuatorer og strukturer som skal flettes inn på en vanlig silisium substrat sammen med integrerte kretser. Dette vil kombinere hjernen i kretsen med beslutningsprosessen evner av MEMS .